氣體質量流量計，是用于精確測量氣體流量的專業儀表，在眾多領域發揮著作用。其工作原理主要基于熱式測量原理。以常見的熱式氣體質量流量計為例，典型傳感元件包含兩個熱電阻其中一個作為速度傳感器，被加熱到高于環境溫度的恒定溫度；另一個是用于感應介質溫度的溫度傳感器。當氣體流經速度傳感器時，會帶走部分熱量，致使傳感器溫度降低。為維持溫度恒定，需增加通過傳感器的工作電流，而增加的電流大小與氣體流速成正比，進而通過測量熱傳遞量計算出氣體的質量流量。這種方式無需溫壓補償，就能直接得出氣體的質量流量。

可實現精準測量，精度通常能達到 ±1% 的讀數甚至更高，為實驗與生產過程提供可靠數據支持。比如在化學氣相沉積實驗中，對反應氣體流量的精準控制，確保了薄膜生長的均勻性與成分精確性，誤差可控制在極小范圍內。

在化學與材料科學領域，用于氣相沉積實驗控制反應氣體流量，保障薄膜質量；在生物與醫學研究中，精準供給細胞培養所需氣體，維持細胞生長環境；在環境科學與能源研究方面，采集空氣樣品時控制流量，助力大氣污染物監測等 。